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單晶爐長(zhǎng)晶原理是什么

[2014/4/10]

     在單晶爐中可以進(jìn)行一些操作,如果把高純度的多晶硅原料放在高純度的石英坩堝中,通過(guò)加熱器的作用,就會(huì)產(chǎn)生高溫,這樣就會(huì)把它熔化。如果對(duì)熔化的硅液進(jìn)行降溫處理,就會(huì)產(chǎn)生一定程度的過(guò)冷度,然后再使用一個(gè)硅單晶體插在熔體的表面,需要使用固定在籽晶軸上的硅單晶體??梢缘冗@籽晶可以和熔體相融合之后,然后慢慢的往上拉動(dòng)籽晶。然后晶體就會(huì)在慢慢的生長(zhǎng),可以生長(zhǎng)成為直徑3至5毫米的細(xì)頸。

 

    這個(gè)細(xì)頸可以消除高溫溶液產(chǎn)生的強(qiáng)烈的沖擊作用,這樣就會(huì)形成一個(gè)錯(cuò)位,這個(gè)過(guò)程就是引晶。然后可以把晶體的直徑放大,將其放大到工藝所要求的大小就可以,一般來(lái)說(shuō),這個(gè)長(zhǎng)度是75至300毫米,專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)則可以把它稱(chēng)為放肩。如果突然將拉速提高的話(huà),使肩部形成一個(gè)直角。然后單晶爐就會(huì)進(jìn)入等徑工藝,通過(guò)對(duì)熱場(chǎng)溫度和晶體來(lái)提升下速度,這樣就會(huì)生成一定大小的單晶柱體。
    如果很多硅溶液已經(jīng)完成了結(jié)晶,就可以把晶體慢慢的縮小,直到縮小為一個(gè)尾形的椎體就可以了,一般這個(gè)尾形椎體也被稱(chēng)為收尾工藝。這樣就可以把單晶的拉制過(guò)程完成操作,然后再經(jīng)過(guò)一定的保溫冷卻就可以將其取出來(lái)了。
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